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排氣閥關閉的密封程度直接影響到油箱內略高于大氣壓的氣體向泵腔內返流的問題，如關閉不嚴會嚴重影響到真空泵的真空度。造成關閉不嚴的主要原因是閥片變形、碎裂、或者是閥片跳動時導向不良造成閥片擱住。

排氣閥關閉不及時也會影響泵的真空度，例如為了減少高真空時的消耗功率和噪聲而采用壓緊閥與浮動閥相結合的復合排氣閥時，單級泵一般不會出現問題，而使用在雙級泵上時，由于低真空腔與油箱內的壓差相對較小，尤其是在轉速較高時，浮動閥就會出現不能及時關閉的現象，從而影響滑閥真空泵的真空度。雙級泵高真空腔的溢流閥如采用浮動閥，則由于兩邊壓差更小，問題會更突出。

排氣閥彈簧力在保證閥密封性的前提下，可取得小一些，如壓緊力過大,會增大消耗功率。過去一些仿制泵彈簧壓緊力達1.2x105Pa，經我們反復試驗求證，認定取1.02~1.1x105Pa較合適，不但減少了消耗功率，噪聲也下降了。